Publication Number
WO/2025/040957
Publication Date
27.02.2025
International Application No.
PCT/IB2024/053062
International Filing Date
28.03.2024
Title
[English]
THERMAL CONTROL WAFER WITH INTEGRATED HEATING-SENSING ELEMENTS
[French]
TRANCHE DE RÉGULATION THERMIQUE AVEC ÉLÉMENTS DE DÉTECTION DE CHAUFFAGE INTÉGRÉS
Applicants **
AEM SINGAPORE PTE. LTD.
52 Serangoon North Avenue 4
Singapore 555853, SG
Inventors **
OSTROWSKI, Carl L.
c/o AEM International (US) Ltd.
5560 W. Chandler Blvd., STE. 3
Chandler, Arizona 85226, US
CONNACHER, Terry Sinclair
c/o AEM International (US) Ltd.
5560 W. Chandler Blvd., STE. 3
Chandler, Arizona 85226, US
KABBANI, Samer
c/o AEM Holdings Ltd.
52 Serangoon North Avenue 4
Singapore 555853, SG
ALEMAN, Enrique
c/o AEM International (US) Ltd.
5560 W. Chandler Blvd., STE. 3
Chandler, Arizona 85226, US
JONES, Thomas P.
9320 Taylors Turn
Stanwood, Michigan 49346, US
DINESCU, Sorin
c/o AEM International (US) Ltd.
5560 W. Chandler Blvd., STE. 3
Chandler, Arizona 85226, US
Priority Data
18/454,737
23.08.2023
US
18/454,741
23.08.2023
US
×
Application details
Recalculate
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Abstract
[English]
Disclosed herein are systems and methods comprising a thermal control wafer (TCW) comprising a plurality of heater zones. A heater zone may comprise a heater-sensing element that generates heat during a heating mode and provides a resistance during a sensing mode. During testing, a wafer under test (WUT) may be placed on top of a chuck assembly. The TCW may be part of or separate from the chuck assembly. Controlling one or more heater zones on the TCW may control the temperatures of DUT(s) while being tested. The thermal controller may comprise a plurality of thermal control channel multiplexed to a plurality of heater zones. E.g., one or more first heater zones can be activated at a first time, one or more second heater zones can be activated at a second time, one or more third heater zones can be activated at a third time, etc.
[French]
Des systèmes et des procédés comprenant une tranche de régulation thermique (TCW) comprenant une pluralité de zones de chauffage sont divulgués. Une zone de chauffage peut comprendre un élément de détection de dispositif de chauffage qui génère de la chaleur pendant un mode de chauffage et confère une résistance pendant un mode de détection. Pendant le test, une tranche à l'essai (WUT) peut être placée au-dessus d'un ensemble mandrin. La TCW peut faire partie ou être séparée de l'ensemble mandrin. La commande d'une ou de plusieurs zones de chauffage sur la TCW peut commander les températures du ou des DUT pendant qu'elles sont testées. Le dispositif de commande thermique peut comprendre une pluralité de canaux de commande thermique multiplexés à une pluralité de zones de chauffage. Par exemple, une ou plusieurs premières zones de chauffage peuvent être activées à un premier instant, une ou plusieurs deuxièmes zones de chauffage peuvent être activées à un deuxième instant, une ou plusieurs troisièmes zones de chauffage peuvent être activées à un troisième instant, etc.